洁净室内的空气分配设备(通常是吊顶过滤器)被设计成“喷淋式”,用来提供统一的、洁净的已过滤的空气。向房间补给的空气量,让人想起与普通的淋浴喷头相反的消防龙头。美国联邦标准209E、日本标准JIS B9920和ISO 标准14644-1的标题是:洁净室外和相关控制环境——部分:清洁空气的分级。这些标准提供了洁净室参数、分级和检测方法的指导方针,但并未说明如何经济有效地达到要求。这是因为每种生产过程和洁净室外的要求是不同的,因此,可以采用不同的再循环空气量,达到预期的环境要求。
至少有五种不同的“可能”设计能够达到预期的结果,然而只有一种设计是至佳方案。为项目寻找至佳和至经济的解决方案,100洁净室,是洁净室外换气项目的基本的目标理念。
确定不同等级洁净区之间的压差,可以先确定低洁净度级别洁净室的正压,再依次提高正压值基数,确定高洁净度级别洁净室正压。如,10洁净室,车间含10万级洁净区、万级洁净区、局部百级洁净区。10万级洁净区走廊正压值为18帕,洁净室,因此就要提高万级洁净区整体的正压值。总之,万级洁净区与10万级洁净区相邻房间之间要有不小于5帕的正压差。万级洁净区有百级洁净区房间,对此,只要提高百级洁净区房间正压即可。
特殊情况洁净区的压差